概观

客户规格

我们的客户，在半导体制造中使用的准分子激光器的主要制造商，一直在寻找一种高速风机马达，其能够在受激准分子气体操作 - 氟组成的腐蚀性气体与氩气或氪气混合。基于客户的规格产品的多种配置均多年来发展。

解

一种放电气体激光器具有激光腔，含有激光气体和用于循环气体的风扇被开发。鼓风机用Magnaforce™永磁电动机与整个旋转组件由Calnetix的Powerflux™主动磁轴承系统支持驱动。变速电动机是由一个定子和旋转提供给风扇的转子的。电动机的永磁转子的激光腔的气体环境中进行操作。电机的定子和磁性轴承致动器分别位于气体环境之外。主动磁轴承被用于通过消除机械接触和轴承润滑相比于传统的轴承时大幅提高轴承的可靠性以及激光系统的性能。

挑战

这是到定子绕组的马达以及从腐蚀性气体环境中的磁性轴承的致动器线圈，并结合在设计中的孔密封的隔离关键是最可靠的解决方案。对于Calnetix工程师的第二个挑战是优化送风风扇的马达的设计和磁性轴承的设计，以适应孔密封考虑到孔密封的材料，这是由顾客选择用于与所述激光气体的兼容性，同时。

结果

高速永磁电动机帮助增加风扇的速度，从而提供了更好室气体的混合。Calnetix发表了独特的设计为他们的球迷，和客户自2000年初已成功出货数千台计算机。