概述

鼓风机电机系统采用Magnaforce™永磁(PM)电机技术,支持主动磁轴承来冷却半导体激光器。

客户规范

我们的客户,一个领先的准分子激光用于半导体制造的制造商,正在寻找一种能够在准分子气体——一种由氟和氩或氪混合组成的腐蚀性气体——中工作的高速风扇鼓风机马达。多年来,我们根据客户的规格开发了多种配置的产品。

解决方案

研制了一种具有激光腔、含有激光气体的放电气体激光器和用于气体循环的风扇。风机由Magnaforce™永磁电机驱动,整个旋转组件由Calnetix的Powerflux™主动磁轴承系统支持。该变速电机由一个定子和一个转子组成,为风扇提供旋转。电机的永磁转子在激光腔内的气体环境中工作。电机的定子和磁轴承执行机构位于气体环境之外。与传统轴承相比,主动磁轴承通过消除机械接触和轴承润滑,大大提高了轴承的可靠性和激光系统性能。

挑战

将电机的定子绕组和磁性轴承的执行机构线圈与腐蚀性气体环境隔离是至关重要的,在设计中采用孔密封是最稳健的解决方案。Calnetix工程师面临的第二个挑战是优化风机的电机设计和磁轴承设计,以适应孔密封,同时考虑孔密封的材料,这是客户为与激光气体兼容而选择的。

结果

高速永磁电机有助于提高风扇的速度,从而提供更好的混合室气体。Calnetix为他们的风扇提供了一个独特的设计,自2000年初以来,客户已经成功地运送了数千台机器。

Motor.jpg

电动机